歷史1915年，德國物理學家W.蓋得發表了他研究的擴散泵報告。

1916年，美國人I.朗繆爾制成泵壁帶有冷卻系統的冷凝泵。這些泵以汞蒸氣為工作介質，并且可以*終獲得10-5帕的真空。

1928年,英國人C.D.伯爾奇發現高沸點的石油衍生物。

1936年，C.D.希克曼等人制成人工合成油。這兩種油在室溫下的飽和蒸氣壓都非常低，從而取代了汞作為擴散泵的工作液。從此油擴散泵在高真空領域的工業生產和科學試驗中就逐漸普遍使用，并打下了高真空技術的基礎。

1960年代開始，油擴散泵又有了新的改變。

主要的改進是：

①泵的材料采用放氣量微小的不銹鋼。

②采用飽和蒸氣壓很低、熱穩定性好的油如聚苯醚和硅油作泵的工作液。

③改變結構，新款的油擴散泵在泵的進氣口法蘭不變和不過分增大泵的外形尺寸條件下，在法蘭下部突出地擴大泵腔的斷面，其抽氣速率可增大20～40％。如在此裝設一個大直徑擴散噴嘴和液氮冷卻的大直徑擋油帽等等。該泵可有通常泵（指沒有擴大泵腔斷面的泵）的抽氣速率，并比較徹底地克服了泵的返油而獲得低于10-8帕清潔超高空。

因此,油擴散泵在清潔超高真空的工業生產和科學試驗中又取得重要的地位。